1、產品規格:
工業級三氯化硼(純度<99.99%)的規?;铣缮a及初級提純,目前有2種規格的產品供客戶選擇使用。
2、包裝容器:
3、產品特點:
1)純度穩定:三氯化硼生產工藝過程穩定可控,并執行嚴格的生產質量管理體系,對產品實行嚴格的質量檢測控制,保障產品持續及穩定的純度。
2)安全生產和經營保證,長期穩定供貨:三氯化硼產品獲安監部門合法生產、經營資質許可,且擁有嚴格有效的?;钒踩a、經營措施及制度,和經驗豐富的安全生產、經營管理人員,可為客戶提供長期穩定、合法可靠的供應。
3)迅速、有效的供貨服務:本土化合法、安全生產與先進的營銷、物流管理能力的良好結合,為客戶提供及時、安全、周到的供貨服務。
4、理化特征
無色發煙液體或氣體(有毒、不燃),有強烈刺激性、酸性氣味,易潮解,在潮濕的空氣中可產生濃密白煙,在水中分解為鹽酸和硼酸,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使鹽與強酸產生離子作用。
分子式:BCl 3???????????????????????????????????????????????????? 分子量:117.17
PH值:酸性???????????????????????????????????????????????????????? 熔點:-107.3℃
相對密度:(水=1)1.43????????????????????????????????????? 沸點:12.5℃
相對蒸汽密度:(空氣=1)4.03???????????????????????????? 引燃溫度(℃):不燃
臨界溫度:178.8℃?????????????????????????????????????????????? 臨界壓力:38.7bar(3.87MPa)
溶解性:溶于苯、二硫化碳等?????????????????????????????????? 水溶性:水解
氣體密度 (1 atm,21.1°C): 5.02kg/m3?????????????? 液體密度 (1 atm,12.5℃) : 1340 kg/m3
氣體熱容Cp(1 atm,25℃):0.062KJ/mol.k????????????? 汽化熱(1 atm,12.5℃) : 203.15 kJ
飽和蒸汽壓:101.32KPa(12.5℃), 202.65KPa(33.2℃), 506.62KPa(66℃), 1013.25KPa(96.7℃)
5、產品用途
(1)高純三氯化硼主要用于(硅)半導體器件制造工藝中的擴散摻雜(在高溫下,經過分解生成硼雜質向硅中擴散,形成P型半導體)、離子注入(作為離子注入源,高能量作用下使硼原子離子化,產生硼離子束并注入硅形成P型淺結)、干法蝕刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過程;
(2)可作為許多有機反應中的優良催化劑(如苯乙烯聚合反應中建議使用,可提高產量及效率)及醫藥工業的中間體;
(3) 用于制備有機硼化合物的基礎材料:乙硼烷;硼酸酯等;
用于制備無機硼化合物材料:硼纖維、BN纖維先驅體、BN坩鍋等;
用于制備硼化物粉末:高純硼粉(無定型及結晶型)、BN、BC4、TiB2超細粉;
用于CVD涂層及鍍膜工藝:涂覆B、BC4、BN、TiB2等保護涂層及膜;
用作光導纖維的基礎材料;
此外還可用于制造太陽能電池元件等工藝過程中;
環氧樹脂固化劑;
碳纖維石墨化的滲硼工藝。
(4)還可用于金屬冶煉如鋁、鎂、鋅、銅合金的提純過程(可脫除熔融金屬中的氮化物、碳化物和氧化物。用三氯化硼氣體處理熔化的鋁,可使鋁鑄件的性能得到改善。)
(5)用作鋁、鐵、鋅、錳、鎢、蒙乃爾等合金的焊劑。
(6)用于撲滅熱處理爐中的Mg火。
(7)高能燃料及火箭推進劑中,三氯化硼作為硼源以提高BTU值。
高純氨氣是無色,有毒,堿性、強腐蝕性的可燃氣體,帶有刺激性氣味,高濃度對眼,皮膚和黏膜有刺激。氨氣的密度比空氣小,在標準狀況下的密度為0.7081g/L。氨氣極易溶于水,在常溫,常壓下,一體積的水中能溶解700體積的氨氣。 液氨21.1°C的飽和蒸氣壓為7.78 kgf/cm2。采用40L鋼瓶、43LDOT鋼瓶Y罐或槽車灌裝。
高純氨主要應用于新型光電子材料領域,是MOCVD技術制備GAN的重要基礎材料。由GAN生產高靈敏度藍光發光二級管和藍光激光器,以及其它相關電子器件,是國內外都在搶占的產業。高純氨還是制備三氟化氮、氮化硅、的基礎材料,是生產超高級氮的原料氣。此外,液氨廣泛地應用于半導體工業、冶金工業,以及需要保護氣氛的其他工業和科學研究中。
高純氨氣的應用
合成氨氣用于制造氮肥等化工原料
工業氨氣用于氨分解制氮氫混合氣體
液氨用于電廠等工廠氨制冷系統的制冷劑(R717)
液氨用于有機合成
高純氨氣用于LED電子行業的氮源
高純氨氣跟硅烷、高純氬氣用于薄膜太陽能電池制造
高純氨氣注意事項
高純氨氣是強腐蝕性有毒物質,對皮膚和眼睛有強烈腐蝕作用,產生嚴重疼痛性灼傷。高純氨蒸氣強烈刺激呼吸道粘膜和眼睛,對呼吸有窒息作用。受高純氨損傷的皮膚應立即用清水沖洗,然后以3%~5%的硼酸、乙酸或檸檬酸溶液濕敷。嚴重時應立即請醫生處理。
高純氨氣吸入人體,少部分為二氧化碳說中和,余下的進入血液,主要與血紅蛋白結合,破壞血液運氧功能。短期內吸入大量氨氣后會出現流淚、咽痛、咳嗽、胸悶、呼吸困難、頭暈、嘔吐、乏力等。若吸入的高純氨過多,導致血液中氨濃度過高,就會通過三叉神經末梢的反射作用而引起心臟的停搏和呼吸停止,危及生命。
使用高純氨氣前,應給氨氣管道進行氮氣試壓、氦氣保壓及肥皂水試漏,確保氨氣管道不泄露。工作環境保持通風。需要有2人同時操作,以應對突發狀況。
氨氣鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間,不符合要求的鋼瓶應委托譜源氣體等經銷商到有資質的壓力容器檢驗單位進行檢驗。
名稱 | 化學式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
高純氨氣 | NH3 | 99.999 | 0.6 | 23KG | CGA660 | 44 | 23×140 | 75 |
液氨 | NH3 | 99.9 | 0.6 | 50kg | QF-11 | 100 | 32*135 | 75 |
液氨 | NH3 | 99.9 | 0.6 | 200kg | QF-11 | 400 | 60*180 | 225 |
液氨 | NH3 | 99.9 | 0.6 | 400kg | QF-11 | 800 | 80*210 | 400 |
液氨 | NH3 | 99.9 | 0.6 | 20-30立方 | 50法蘭 | 槽車 | – | – |
?
產品說明:
四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業;如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
四氟化碳用途
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1:在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、
泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
2:可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調節兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。
3:由于化學穩定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。
4.:四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內,小白鼠仍可安全脫險。
注意事項:
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量:88.005
熔點(101.325kPa):????-186.8℃
沸點(101.325kPa):????-128.0℃
液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m3
氣體密度(0℃,101.325kPa):????3.946 kg/m3
相對密度(氣體,0℃,101.325kPa):??3.05
氣液容積比(15℃,100kPa):436 L/L
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
臨界溫度:????-45.6℃
臨界壓力:????3739kPa
臨界密度:????629kg/m3
壓縮系數:
溫度℃ | 壓縮系數 | |||
100kPa | 1000kPa | 5000kPa | 10000kPa | |
1 5 | 0.9981 | 0.9763 | 0.7832 | 0.6058 |
50 | 0.9988 | 0.9866 | 0.8717 | 0.7637 |
熔化熱(-186.8℃):????7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃,101.325kPa):??135.65 kJ/kg
比熱容(氣體,25℃,101.325kPa):Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體,25℃,101.325kPa):Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C):0.20 kPa
(-120℃):????165 kPa
(-50℃):????3220 kPa
粘度(101.325kPa,0℃,氣體):0.0161 mPa·S
(-60.0℃,液體):0.170 mPa·S
表面張力(-80.0℃):????6.4 mN/m
導熱系數(101.325kPa,0℃):0.01503 w/(m·K)
(液體,-60.0℃):0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃):????1.151
產品分類: 電子氣體
中文名:三氟甲烷
外文名:trifluoromethane
別????名:氟仿
分子式:CHF3
相對分子質量:70.01
化學品類別:有機物–烴的衍生物
管制類型:不管制
儲????存:密封保存
三氟甲烷,又稱三氟甲,是一種無色、微味,不導電的氣體,是理想的鹵代烷替代物。
物理性質
中文名稱:三氟甲烷
中文別名:氟仿;氟里昂-23;HFC-23滅火劑
英文名稱:trifluoromethane
英文別名:Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;
CAS號:75-46-7
EINECS號:200-872-4
分子式:CHF3
分子量:70.0138
外觀與性狀:無色無臭氣體。
熔點(℃):-155
相對密度(水=1):1.52(-80℃)
沸點(℃):-84
相對蒸氣密度(空氣=1):2.43
飽和蒸氣壓(kPa):2504(20℃)
臨界溫度(℃):25.7
臨界壓力(MPa):4.84
溶解性:溶于水。
化學性質
不燃。受熱分解釋出劇毒的煙霧。
作用與用途
用作低溫(-100℃)制冷劑,電子工業等離子體化學蝕刻劑及氟有機化合物的原料。
使用注意事項
危險性概述
健康危害:接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐,有麻醉作用。
環境危害:對大氣可造成污染。
燃爆危險:該品不燃。
急救措施
吸入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。
消防措施
有害燃燒產物:氟化氫。
滅火方法:該品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。
泄漏應急處理
應急處理:迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
操作處置與儲存
操作注意事項:密閉操作,全面通風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
儲存注意事項:儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易(可)燃物分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
制備
由氯仿與氟化氫在氯氟化銻催化作用下制得,或由一氯二氟甲烷歧化反應制得
]]>
高純氙氣相關技術指標 僅供參考
氙 | |
DOT Classification(DOT類別): | 2.2(Nonflammable Gas)(不燃性氣體) |
DOT Label(DOT標簽): | NON-FLAMMABLE GAS(不燃性氣體) |
Cylinder Connection(鋼瓶接口): | CGA/DISS/JIS–580/718/W22-14R |
Grsde(級別) | 5N |
Purity(純度) | 99.999% |
Guaranteed Specification(保證規格) |
|
Impurity(非組分) | Specification(標準) |
Oxygen(氧) | ≤1 ppmv |
Nitrogen(氮) | ≤3 ppmv |
Carbon Dioxide(二氧化碳) | ≤0.1 ppmv |
Carbon Monoxide(一氧化碳) | ≤0.1 ppmv |
Methane(甲烷) | ≤0.1 ppmv |
Water(水) | ≤2 ppmv |
Krypton(氪) | ≤2 ppmv |
Argon(氬) | ≤1 ppmv |
Helium(氦) | ≤1 ppmv |
Hydrogen(氫) | ≤1 ppmv |
?廣泛用于電子、電光源工業。用氙氣充填的燈泡與相同功率的充氬燈泡相比,具有發光率高、體積小、壽命長、省電等優點。由于它的透霧能力特別強,常用作有霧導航燈,廣泛用于機場、車站、碼頭。氙氣燈凹面聚光后可生成2500℃高溫,可用于焊接或切割難熔金屬如鈦、鉬等。在醫學方面,氙氣是一種沒有副作用的深度麻醉劑,X光攝影的造影劑。
(一)光電源工業—氙氣燈
??? 氙氣燈的發光原理是在UV-cut抗紫外線水晶石英玻璃管內,以多種化學氣體充填,其中大部份為氙氣。由氙氣所產生的白色超強電弧光,可提高光線色溫值,類似白晝的太陽光芒,HID工作時所需的電流量僅為3.5A,亮度是傳統鹵素燈泡的三倍,使用壽命比傳統鹵素燈泡長10倍。
(一)焊接切割行業
? 氙氣燈凹面聚光后可生成2500℃高溫,可用于焊接或切割難熔金屬如鈦、鉬等。
(一)醫療行業
? 在醫學方面,氙氣是一種沒有副作用的深度麻醉劑,X光攝影的造影劑。
(一) 包裝—氙氣鋼瓶
名稱:鋼質無縫氣瓶 (執行標準GB5099 )
1~5L專用鋼瓶,高壓液化氣體?
(二) 存放及使用—氙氣?
???? 氙氣是一種無色、無味、無毒的不燃燒的儲存于氣瓶中的高壓氣體。當其含量增加導致氧氣含量低于19.5%時有可能引起窒息。使用前,請確認購買的氣體符合自身的使用要求;氣體鋼瓶請存放在干燥、陰涼的地方,并遠離熱源和避免陽光直射,請將甲烷、乙炔等可燃氣體與氧氣、氧化亞氮等助燃氣體分開存儲;使用鋼瓶氣體時,請使用減壓器(減壓閥、減壓表),確保減壓閥及氣體管道清潔無油;在室內使用氣體時請保持室內通風,以防中毒或窒息;發現管道、減壓閥等地方漏氣時,請停止使用并盡快檢修;不可將鋼瓶氣體全部用完,請保留0.5MPa殘余壓力,液化氣體請保留2%殘留氣體。
注意事項
一、泄漏應急處理
迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
二、防護措施
呼吸系統防護:一般不需特殊防護。但當作業場所空氣中氧氣濃度低于18%時,必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具。
眼睛防護:一般不需特殊防護。
身體防護:穿一般作業工作服。
手防護:戴一般作業防護手套。
其它:避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業,須有人監護。
三、急救措施
吸入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。
滅火方法:本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。
名稱 | 化學式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
氖氣 | Ne | 99.999 | 13.5 | 5.5 | PX-32|G5/8 | 40 | 29×145 | 50 |
氖氣 | Ne | 99.999 | 13.5 | 6 | CGA580 | 50 | 32×165 | 55 |
氖氣 | Ne | 99.999 | 10 | 1 | PX-32|G5/8 | 8 | 22×70 | 10 |
產品說明 | 氖是一種無色、無嗅、非易燃的稀有氣體。用于做碼頭、機場的燈標。用于霓虹燈、水銀燈、絕緣檢測器,高頻率驗電器、等離子體研究,激光器等,用作低溫冷卻劑,標準氣,特種混合氣等。 |
注意事項 | 無毒,高濃度時有窒息作用 |
應用行業 | 光電和能源、物理、化工行業等 |
]]>
名稱 | 純度 | 氣瓶容積 | 充裝量 | 壓力 | 常用閥門型號 |
氪氣 | 99.999% | 8L | 1立方 | 10Mpa | QF-2/QF-21A |
氪氣 | 99.999% | 40L | 5.5立方 | 13.5Mpa | QF-2/QF-21A |
氪氣 | 99.999% | 47L | 6.3立方 | 15Mpa | CGA580 |
產品主要用途
1.有一些使用在填充在白熾燈泡中。機場跑道的照明也是用氪。
2.廣泛用于電子、電光源工業,還用于氣體激光器和等離子流中。
3.因其透射率特別高,大量用作礦燈、越野車照射燈。
4.醫學上,氪的同位素用作顯蹤劑。
5.液體氪可用作氣泡室,探測粒子的軌跡。
6.放射性氪可用于密閉容器的檢漏和材料厚度的連續性測定,還可以制成不需電能的原子燈。
儲存注意事項:貯運裝卸過程中應輕拿輕放,謹防包裝破損。
]]>硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
生產工藝:主要三種:硅鎂合金法工藝(小松法);氯硅烷歧化工藝(UCC);金屬氫化物工藝(MEMC法)三種。本公司硅烷生產工藝為氯硅烷歧化工藝(UCC)同REC工藝一致。
應用方式:氣相沉積、外延生長、鍍膜、擴散等工藝。
包裝方式:
儲存:
1.在通風良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應直立擺放。且保持保護性閥蓋和輸出閥的密封完好。
2.存儲區域應遠離頻繁出入處和緊急出口。儲存區域內不應有火源,儲存區內所有電器必須有防爆設施。易燃物存放區應與氧及氧化物存放區最少相距20ft 。
3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障,以保證能耐火半小時。儲存區和使用區內應有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。
4.存儲溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。
5.使用先進先出系統。應考慮在儲存區內安裝測漏器和報警設備。
硅烷氣體的質量標準 僅供參考
項目名稱 | 雜質含量(ppm) |
硅烷 純度指標(%) ≥99.9999 | |
氬氣(Ar) | ≤0.05 |
氯硅烷(Chlorosilane)) | ≤0.15 |
乙硅烷(Si2H6)) | ≤0.5 |
氦氣(He) | ≤1 |
一氧化碳(CO) | ≤0.05 |
氧氣(O2) | ≤0.05 |
氮氣(N2) | ≤1 |
氫氣(H2) | ≤20 |
二氧化碳(CO2) | ≤0.05 |
甲烷(CH4) | ≤0.05 |
碳(C) | ≤0.2 |
二氯二氫硅(SiH2Cl2) | ≤0.5 |
甲基硅烷(CH3Si) | ≤0.5 |
金屬離子(Metals) | ≤0.03 |
硅烷氣體使用當中的注意事項
硅烷氣體注意事項:使用硅烷的工作場所要通風,保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復進行置換和抽真空,一定要徹底清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷??梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時,從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風良好之處,要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火,所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢,使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高,所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出??捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作,局部排風。操作人員必須經過專培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
]]>名稱:nitrogen trifluoride 分子式:NF3
純凈的NF3氣體是一種無色無味的氣體,當混入一定量的雜質氣體后顏色發黃,同時會有發霉或刺激性氣味。NF3氣體不可燃,但能助燃。當溫度超過350℃時,三氟化氮氣體會緩慢分解,分解時產生強氧化性氟,因此,在高溫下它是一種強氧化劑。
危險性類別:第2.3類有毒氣體,在空氣中的最高允許含量為29mg/m3。
產品純度: 99.99%~99.995%
產品包裝:40L專用鋼瓶;閥門:CGA330、CGA640
鋼瓶容積 | 鋼瓶型號 | 閥門 | 鋼瓶壓力 | 氣體質量 | 危規號 | UN編號 | 包裝分類 | 包裝標志 |
47L、43.3L、40L、8L | DOT-3AA、GB5099 | CGA330、CGA640 | 9.0-13.0MPa | 22kg、20kg、3.4kg | 23016 | 2451 | Ⅱ | 6 |
產品用途
三氟化氮是用作氟化氫-氟化氣高能化學激光器的氟源,在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分(約25%)可以以激光輻射釋放出,所HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體,對硅和氮化硅蝕刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性,而且對表面無污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中,三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性,在被蝕刻物表面不留任何殘留物,同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術的發展和電子工業大規模的發展技術,它的需求量將日益增加。
儲存及運輸
三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射,與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。
三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好,用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
泄漏應急處理
如遇有三氟化氮氣體泄露,工作人員要馬上撤離泄漏污染區,并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒,應立即送往醫院救治。
泄露現場要盡快處理,處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具,最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員,泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。
三氟化氮氣體產品質量標準(Q/718J58-2007)
雜質 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
酸份(以HF計) | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
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硫酰氟英文名稱:SULFURYLFLUORIDE
硫酰氟英文同義詞:SO2F2;Vikane;Vulkane;sulfuryl;Vikane[R];vikanefumigant;surfuryfluoride;VikChemicalbookanefumigant;sulfonylfluoride;Difluorosulfone
中文名稱:硫酰氟
中文同義詞:硫酰氟;硫醯氟;磺酰氟;氟化磺酰;氟氧化硫
硫酰氟性質、用途與生產工藝用途用于熏蒸建筑物、車船運輸工具及木材制品,防治白蟻、飛蠊、家天牛、鼠類等用途廣泛用于棉、絲綢、化纖織物、皮革、中藥材、煙草、竹木器、工藝品、文物檔案等Chemicalbook倉庫的殺蟲類別壓縮氣體和液化氣體毒性分級高毒急性毒性吸入-大鼠LC50:991PPM/4小時;口服-大鼠LD50:100毫克/公斤可燃性危險特性不燃;火場釋放硫氧化物,氟化物氣體
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