特殊氣體
今天為大家介紹下特殊氣體吧!
特種氣體(Specialtygases),?獨特氣體,簡稱特氣,門類繁多,通??蓞^分為電子氣體,標準氣,環保氣,醫用氣,焊接氣,殺菌氣等,廣泛用于電子,電力,石油化工,采礦,鋼鐵,有色金屬冶煉,熱力工程,生化,環境監測,醫學研究及診斷,食品保鮮等領域。
為滿足特定用途的氣體,包括單一氣體或混合氣體。單一氣體有259種,其中電子氣體115種,有機氣體63種,無機氣體35種,鹵碳素氣體29種,同位素氣體17種。
特殊氣體的注意事項:
? ?(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃氣體等都界說為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只需與空氣觸摸就會焚燒,當環境溫度到達一守時,PH3與B2 H6等氣體也會發作自燃??扇家兹細怏w都有必定的著火焚燒爆破規模,即上限、下限值。此規模越大的氣體起爆破焚燒風險性就越高,如B 2H6的爆破上限為98%,爆破下限為0.9%。歸于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導體制造職業中運用的氣體許多都是對人體有害、有毒的。其間又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)別離只需50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微,因而在儲存、運送以及運用的進程中都需求特別的當心。通常都應該采納特定的技能措施來操控運用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都歸于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常一起也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在枯燥狀態下通常不易腐蝕金屬,但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
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