高純空氣用途
工業上，把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。氣體產品種類繁多，大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類。常見高純氣體的用途高純氧:高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;
高純氦：用作氦氣球、氦氣飛艇的填充氣體，以取代其有高度可燃性的氫氣，與高純二氧化碳和高純氮氣一起用作二氧化碳激光切割機的激光氣體，液氦用于核磁共振成像儀的超導磁體，跟醫用氧氣一起用于深海作業的呼吸氣體，用作空調領域氦漏儀的檢漏氣體，跟高純氬氣一起用作特殊焊接的保護氣體，用作氣相色譜儀/氣質聯用儀等儀器的載氣
高純氬：高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。 在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業中也需要用氬作保護氣。
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