工業用高純氦氣
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工業用高純氦氣 （He)
| 項目名稱 | 純度指標（%） | |||
| 氦氣 | ≥99.9999 | ≥99.999 | ≥99.99 | |
| 雜質含量（ppm)
|
氧氣（O2） | ≤0.5 | ≤1 | ≤2 |
| 水（H2O） | ≤0.2 | ≤1 | ≤10 | |
| 氮氣（N2） | ≤10 | ≤5 | ≤10 | |
| 氫氣（H2） | ≤3 | ≤1 | ≤3 | |
| 氬氣（Ar) | ≤2 | ≤1 | ≤2 | |
| 一氧化碳（CO） | ≤0.1 | ≤1 | ≤1 | |
| 二氧化碳（CO2） | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
| 碳氫化合物（THC） | ≤0.2 | ≤0.5 | ≤3 | |
工業用氦氣包裝：采用40L、44L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。
工業用氦氣等用途：化學氣相淀積、晶體生長、等離子干刻、特種混合氣等，用作標準氣、平衡氣、醫療氣、氣球電子管潛水服等的充氣。
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