四氟化碳
產品名稱:?四氟化碳
分子式:?CF4
UN No.?UN1956
CAS No.?75-73-0
產品純度:99.999%
包裝說明:47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質閥門，閥門型號CGA660；40L高壓無縫鋼瓶，凈重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質閥門是QF-2，出口螺紋是G5/8
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產品說明:
四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
四氟化碳用途
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1：在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、
泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
2：可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。
3：由于化學穩定性極強，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。
4.：四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內，小白鼠仍可安全脫險。
注意事項:
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量：88.005
熔點(101.325kPa)：????-186.8℃
沸點(101.325kPa)：????-128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)：????3.946 kg/m3
相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)：??3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度：????-45.6℃
臨界壓力：????3739kPa
臨界密度：????629kg/m3
壓縮系數：
| 溫度℃ | 壓縮系數 | |||
| 100kPa | 1000kPa | 5000kPa | 10000kPa | |
| 1 5 | 0.9981 | 0.9763 | 0.7832 | 0.6058 |
| 50 | 0.9988 | 0.9866 | 0.8717 | 0.7637 |
熔化熱(-186.8℃)：????7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)：??135.65 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C)：0.20 kPa
(-120℃)：????165 kPa
(-50℃)：????3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，氣體)：0.0161 mPa·S
(-60.0℃，液體)：0.170 mPa·S
表面張力(-80.0℃)：????6.4 mN/m
導熱系數(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
(液體，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)：????1.151
